溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法
| 专利名称: |
溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法 |
| 专利名称英文: |
|
| 专利类别: |
发明专利 |
| 申请号: |
200510042737.0 |
| 专利号: |
ZL 200510042737.0 |
| 申请日期: |
2005-5-25 |
| 第一发明人: |
杨晓天 |
| 第一发明人英文: |
|
| 其他发明人: |
|
| 其他发明人英文: |
|
| 国外申请日期: |
|
| 国外申请方式: |
|
| 国外申请方式英文: |
|
| 专利授权日期: |
2008-1-23 |
| 缴费情况: |
|
| 缴费情况英文: |
|
| 实施情况: |
|
| 实施情况英文: |
|
| 其他备注: |
|
| 其他备注英文: |
|
| 专利证书号: |
|
| 专利摘要: |
|
| 专利摘要英文: |
|
| 国外授权日期: |
|
|
