溅射离子泵的电源
| 专利名称: |
溅射离子泵的电源 |
| 专利名称英文: |
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| 专利类别: |
实用新型 |
| 申请号: |
200520078831.7 |
| 专利号: |
ZL 200520078831.7 |
| 申请日期: |
2005-5-23 |
| 第一发明人: |
杨晓天 |
| 第一发明人英文: |
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| 其他发明人: |
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| 其他发明人英文: |
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| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 国外申请方式英文: |
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| 专利授权日期: |
2006-11-22 |
| 缴费情况: |
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| 缴费情况英文: |
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| 实施情况: |
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| 实施情况英文: |
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| 其他备注: |
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| 其他备注英文: |
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| 专利证书号: |
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| 专利摘要: |
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| 专利摘要英文: |
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| 国外授权日期: |
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